Добро пожаловать в VeTek Semiconductor, вашего надежного производителя покрытий CVD SiC. Мы гордимся тем, что предлагаем верхнюю часть коллектора с покрытием SiC Aixtron, которая профессионально разработана с использованием графита высокой чистоты и имеет современное покрытие SiC CVD с содержанием примесей менее 5 частей на миллион. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам с любыми вопросами или запросами.
Имея многолетний опыт в производстве покрытий TaC и SiC, компания VeTek Semiconductor может поставлять широкий ассортимент верхней части коллектора с покрытием SiC, центра коллектора и нижней части коллектора для системы Aixtron. Высококачественная верхняя часть коллектора с покрытием SiC может удовлетворить многие потребности. Если вам нужно, своевременно воспользуйтесь нашей онлайн-услугой по верхней части коллектора с покрытием SiC. В дополнение к приведенному ниже списку продуктов вы также можете настроить свою собственную уникальную крышку коллектора с покрытием SiC в соответствии с вашими конкретными потребностями.
Верхняя часть коллектора с покрытием SiC, центр коллектора с покрытием SiC и нижняя часть коллектора с покрытием SiC являются тремя основными компонентами, используемыми в процессе производства полупроводников. Давайте поговорим о каждом продукте отдельно:
Верхняя часть коллектора с покрытием VeTek Semiconductor SiC играет решающую роль в процессе осаждения полупроводников. Он действует как опорная структура для осаждаемого материала, помогая поддерживать однородность и стабильность во время осаждения. Это также помогает в управлении температурным режимом, эффективно рассеивая тепло, выделяемое во время процесса. Верхняя часть коллектора обеспечивает правильное расположение и распределение осаждаемого материала, что приводит к качественному и равномерному росту пленки.
Покрытие SiC на верхней, центральной и нижней частях коллектора значительно повышает их производительность и долговечность. Покрытие SiC (карбид кремния) известно своей превосходной теплопроводностью, химической инертностью и коррозионной стойкостью. Покрытие SiC вверху, в центре и внизу коллектора обеспечивает превосходные возможности терморегулирования, обеспечивая эффективное рассеивание тепла и поддержание оптимальных температур процесса. Он также обладает превосходной химической стойкостью, защищая компоненты от агрессивной среды и продлевая срок их службы. Свойства покрытий SiC помогают повысить стабильность процессов производства полупроводников, уменьшить дефекты и улучшить качество пленок.
Основные физические свойства покрытия CVD SiC | |
Свойство | Типичное значение |
Кристальная структура | FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная |
Плотность | 3,21 г/см³ |
Твердость | Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г) |
Размер зерна | 2~10 мкм |
Химическая чистота | 99,99995% |
Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Температура сублимации | 2700℃ |
Предел прочности при изгибе | 415 МПа РТ 4-точечный |
Модуль для младших | Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃ |
Теплопроводность | 300Вт·м-1·К-1 |
Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6К-1 |