Физическое осаждение из паровой фазы

Vetek Semiconductor — китайский производитель, который поставляет передовые полупроводниковые материалы для процесса физического осаждения из паровой фазы, такие какТигель с покрытием SiC, стеклоуглеродный тигель,Графитовые нагреватели с покрытием SiC, Тигли для испарения электронно-лучевой пушкой.

Основные принципы процесса PVD

Процессы физического осаждения из паровой фазы обычно включают в себя множество конкретных методов, таких как испарение, распыление и ионное осаждение. Независимо от используемого метода, основной принцип физического осаждения из паровой фазы заключается в испарении материала из источника посредством высокотемпературного нагрева или ионной бомбардировки. Испаренный материал движется в виде атомов или молекул в вакууме или среде низкого давления и конденсируется в тонкую пленку на поверхности подложки. Этот процесс в основном достигается физическими средствами, что позволяет избежать влияния химических реакций на чистоту материала.

Преимущества технологии физического осаждения из паровой фазы

Высокая чистота и высокая плотность: Пленки, нанесенные PVD, обычно имеют высокую чистоту и плотность, что может значительно улучшить характеристики покрытия, такие как износостойкость, коррозионная стойкость и твердость.

Сильная адгезия пленки: Процесс PVD позволяет образовывать пленку с прочной адгезией к подложке, что гарантирует, что пленку будет нелегко отслоить во время использования, что продлит срок службы продукта.

Широкий выбор материалов: Технология PVD может применяться к различным материалам, включая металлы, керамику и сплавы, и позволяет создавать различные функциональные покрытия, такие как проводящие, изолирующие, термостойкие и антиокислительные покрытия.

Защита окружающей среды и устойчивое развитие: По сравнению с такими процессами, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), процесс физического осаждения из паровой фазы (PVD) более экологичен, не приводит к образованию вредных газов и снижает загрязнение окружающей среды.

Применение технологии PVD

Полупроводниковая промышленность: В производстве полупроводников физическое осаждение из паровой фазы часто используется при изготовлении тонкопленочных электродов, диффузионных барьеров и металлических межсоединений, чтобы обеспечить хорошую проводимость и стабильность компонентов.

Оптические устройства: Технология физического осаждения из паровой фазы широко используется в оптических покрытиях, таких как просветляющие покрытия для зеркал и линз, а также в производстве оптических фильтров для улучшения характеристик оптических устройств.