Ожидается, что благодаря постоянному технологическому прогрессу и углубленным исследованиям механизмов гетероэпитаксиальная технология 3C-SiC будет играть более важную роль в полупроводниковой промышленности и способствовать разработке высокоэффективных электронных устройств.
Читать далееПространственное ALD, пространственно изолированное атомно-слоевое осаждение. Пластина перемещается между разными позициями и в каждой позиции подвергается воздействию разных предшественников. На рисунке ниже показано сравнение традиционного ALD и пространственно изолированного ALD.
Читать далееНедавно немецкий научно-исследовательский институт Fraunhofer IISB совершил прорыв в исследованиях и разработках технологии нанесения покрытий из карбида тантала и разработал решение для покрытия распылением, которое является более гибким и экологически чистым, чем решение для осаждения CVD, и было ......
Читать далееВ эпоху быстрого технологического развития 3D-печать, как важный представитель передовых производственных технологий, постепенно меняет облик традиционного производства. Благодаря постоянному развитию технологий и снижению затрат технология 3D-печати показала широкие перспективы применения во многих......
Читать далееСами по себе монокристаллические материалы не могут удовлетворить потребности растущего производства различных полупроводниковых приборов. В конце 1959 года была разработана технология выращивания тонкослойных монокристаллических материалов – эпитаксиальный рост.
Читать далееКарбид кремния — один из идеальных материалов для изготовления высокотемпературных, высокочастотных, мощных и высоковольтных устройств. Важным направлением развития с целью повышения эффективности производства и снижения затрат является подготовка крупногабаритных подложек из карбида кремния.
Читать далее