CVD-покрытие SiC Эпитаксиальный токоприемник

Susceptor для эпитаксии с CVD-покрытием SiC от VeTek Semiconductor — это прецизионный инструмент, предназначенный для манипулирования и обработки полупроводниковых пластин. Этот токоприемник эпитаксии с покрытием SiC играет жизненно важную роль в стимулировании роста тонких пленок, эпитаксиальных слоев и других покрытий, а также может точно контролировать температуру и свойства материала. Приветствуем ваши дальнейшие запросы.

Отправить запрос

Описание продукта

Эпитаксиальный токоприемник с покрытием CVD SiC представляет собой типMOCVD светодиодный эписуссептор, который играет центральную роль в CVD-реакторе. Являясь эписуцептором, он является не только источником тепла, но и обеспечивает стабильную опорную платформу для подложки во время процесса осаждения.Карбидно-карбидное покрытиеможет эффективно уменьшить окисление и загрязнение графитового токоприемника в условиях высоких температур, тем самым обеспечивая высокую чистоту осаждаемого материала.

Базовыйфизические свойства покрытия CVD SiC:

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство	Типичное значение
Кристаллическая структура	FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Плотность	3,21 г/см³
Твердость	Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна	2~10 мкм
Химическая чистота	99,99995%
Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
Температура сублимации	2700℃
изгибная прочность	415 МПа РТ 4-точечный
Модуль Юнга	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
Теплопроводность	300 Вт·м^-1·К^-1
Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1

Преимущества продукта сенсетора эпитаксии с покрытием CVD SiC:

● Точное осаждение: С помощью устройства для эпитаксии с покрытием CVD SiC вы можете добиться точно контролируемого осаждения тонких пленок и покрытий для получения высококачественных и повторяемых результатов.

● Снижение загрязнения: Покрытие SiC сводит к минимуму риск загрязненияЭпи Суцепторна основе графита, обеспечивающего чистоту наносимого материала.

● Долговечность: Покрытие SiC повышает стойкость к окислению и химической коррозии графитового эпитаксионного токоприемника, продлевая его срок службы и повышая надежность.

ВеТек Полупроводникстремится предоставлять высококачественную продукцию по конкурентоспособным ценам. Будь тоЕсли приемник EPIили графитовый EPI токоприемник высокой чистоты, мы можем удовлетворить ваши потребности. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

ВеТек ПолупроводникЭпитаксиальный токоприемник с покрытием CVD SiC Магазины продукции:

Горячие Теги: Эпитаксиальный токоприемник с покрытием CVD SiC, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальный, Купить, Расширенный, Прочный, Сделано в Китае

Тег продукта

Связанная категория