Рецептор Aixtron MOCVD

Являясь профессиональным производителем и поставщиком датчиков Aixtron MOCVD в Китае, датчик Aixtron MOCVD компании Vetek Semiconductor широко используется в процессе осаждения тонких пленок при производстве полупроводников, особенно в процессе MOCVD. Vetek Semiconductor специализируется на производстве и поставке высокопроизводительных продуктов Aixtron MOCVD Susceptor. Приветствуем ваш запрос.

Отправить запрос

Описание продукта

Суцепторы производстваВетек Полупроводникизготовлены из графитовой подложки и материала покрытия из карбида кремния (SiC). Учитывая более высокую износостойкость, коррозионную стойкость и чрезвычайно высокую твердость материала SiC, он особенно подходит для использования в суровых технологических средах. Таким образом, сусцепторы производства Vetek Semiconductor могут напрямую использоваться в высокотемпературных процессах MOCVD без дополнительной обработки поверхности.

Суцепторы являются ключевыми компонентами в производстве полупроводников, особенно в оборудовании MOCVD для процессов осаждения тонких пленок. Основная рольПриемник Aixtron SiCВ процессе MOCVD заключается в переносе полупроводниковых пластин, обеспечении равномерного и качественного осаждения тонких пленок за счет обеспечения равномерного распределения тепла и реакционной среды, тем самым достигая высококачественного производства тонких пленок.

Рецептор Aixtron MOCVDобычно используется для поддержки и фиксации основания полупроводниковых пластин, чтобы обеспечить стабильность пластины во время процесса осаждения. В то же время поверхностное покрытие датчика Aixtron MOCVD выполнено из карбида кремния (SiC), материала с высокой теплопроводностью. Покрытие SiC обеспечивает равномерную температуру на поверхности пластины, а равномерный нагрев необходим для получения пленок высокого качества.

Более того,Рецептор Aixtron MOCVDкоторую мы производим, играет большую роль в контроле потока и распределения химически активных газов за счет оптимизированной конструкции материалов. Избегайте вихревых токов и температурных градиентов, чтобы добиться равномерного осаждения пленки.

Что еще более важно, в процессе MOCVD материал покрытия из карбида кремния (SiC) обладает коррозионной стойкостью, поэтомуВетек Полупроводник'sРецептор Aixtron MOCVDтакже может противостоять высоким температурам и агрессивным газам.

Основные физические свойстваПОКРЫТИЕ SIC: