Китай Покрытие из карбида кремния Производитель,Поставщик,Завод

VeTek Semiconductor специализируется на производстве продуктов с покрытиями из сверхчистого карбида кремния. Эти покрытия предназначены для нанесения на очищенный графит, керамику и компоненты из тугоплавких металлов.

Наши покрытия высокой чистоты в первую очередь предназначены для использования в полупроводниковой и электронной промышленности. Они служат защитным слоем для подложек, токоприемников и нагревательных элементов, защищая их от агрессивных и реактивных сред, возникающих в таких процессах, как MOCVD и EPI. Эти процессы являются неотъемлемой частью обработки пластин и производства устройств. Кроме того, наши покрытия хорошо подходят для применения в вакуумных печах и нагревании образцов, где встречаются условия высокого вакуума, реактивной среды и кислорода.

В VeTek Semiconductor мы предлагаем комплексное решение с использованием наших передовых возможностей механического цеха. Это позволяет нам производить базовые компоненты с использованием графита, керамики или тугоплавких металлов и наносить керамические покрытия SiC или TaC собственными силами. Мы также предоставляем услуги по нанесению покрытий на детали, поставляемые заказчиком, обеспечивая гибкость для удовлетворения разнообразных потребностей.

Наши продукты с покрытием из карбида кремния широко используются в эпитаксии Si, эпитаксии SiC, системе MOCVD, процессе RTP/RTA, процессе травления, процессе травления ICP/PSS, процессах различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, ультрафиолетовые светодиоды и глубокие ультрафиолетовые лучи. Светодиод и т. д., адаптированный к оборудованию LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и так далее.

Детали реактора, которые мы можем сделать:

Покрытие из карбида кремния имеет ряд уникальных преимуществ:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Параметр покрытия из карбида кремния VeTek Semiconductor:

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство	Типичное значение
Кристаллическая структура	FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Плотность	3,21 г/см³
Твердость	Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна	2~10 мкм
Химическая чистота	99,99995%
Теплоемкость	640 Дж·кг-1·К-1
Температура сублимации	2700℃
изгибная прочность	415 МПа РТ 4-точечный
Модуль Юнга	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
Теплопроводность	300Вт·м-1·К-1
Тепловое расширение (КТР)	4,5×10-6К-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Вафельный носитель с покрытием SiC

Являясь профессиональным производителем и поставщиком подложек с покрытием SiC в Китае, держатели пластин с покрытием SiC компании Vetek Semiconductor в основном используются для улучшения однородности роста эпитаксиального слоя, обеспечения их стабильности и целостности в высокотемпературных и агрессивных средах. С нетерпением ждем вашего запроса.

Читать далее Отправить запрос

АЛД-приемник

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем ALD Susceptor, покрытия CVD SiC и графитовой основы CVD TAC COATING в Китае. Компания Vetek Semiconductor совместно с производителями систем ALD разработала и произвела планетарные основания ALD с SiC-покрытием, чтобы удовлетворить высокие требования процесса ALD и равномерно распределить поток воздуха на подложке. Мы надеемся на дальнейшее сотрудничество с вами.

Читать далее Отправить запрос

Потолок с покрытием CVD SiC

Являясь профессиональным производителем и поставщиком потолков с CVD-SiC-покрытием в Китае, компания VeTek Semiconductor's обладает превосходными свойствами, такими как устойчивость к высоким температурам, коррозионная стойкость, высокая твердость и низкий коэффициент теплового расширения, что делает его идеальным выбором материала в производстве полупроводников. Мы надеемся на дальнейшее сотрудничество с вами.

Читать далее Отправить запрос

MOCVD светодиодный эписуссептор

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем светодиодных Epi-сунсцепторов MOCVD, планетарных токоприемников ALD, графитовых токоприемников с покрытием TaC в Китае. Светодиодный эпитаксиальный датчик MOCVD компании VeTek Semiconductor предназначен для требовательных применений в эпитаксиальном оборудовании. Его высокая теплопроводность, химическая стабильность и долговечность являются ключевыми факторами для обеспечения стабильного процесса эпитаксиального роста и производства высококачественных полупроводниковых пленок. Мы надеемся на дальнейшее сотрудничество с вами.

Читать далее Отправить запрос

Покрытие SiC, токоприемник ALD

Являясь профессиональным производителем и поставщиком токоприемников ALD с SiC-покрытием, компания VeTek Semiconductor предлагает токоприемник ALD с SiC-покрытием, который представляет собой вспомогательный компонент, специально используемый в процессе атомно-слоевого осаждения (ALD). Он играет ключевую роль в оборудовании ALD, обеспечивая однородность и точность процесса осаждения. Мы считаем, что наши планетарные датчики ALD могут предложить вам высококачественные решения.

Читать далее Отправить запрос

Эпиприемник с покрытием SiC

VeTek Semiconductor является ведущим производителем, новатором и лидером в области продуктов Epi Susceptor с SiC-покрытием в Китае. В течение многих лет мы уделяем особое внимание различным продуктам с SiC-покрытиями, таким как эпи-сунсцептор с SiC-покрытием, вафельный носитель с SiC-покрытием, токоприемник с SiC-покрытием, токоприемник ALD с SiC-покрытием и т. д. VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые технологии и продуктовые решения для полупроводников. промышленность. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Читать далее Отправить запрос

<1 2 3 4 5...11 >

Являясь профессиональным производителем и поставщиком Покрытие из карбида кремния в Китае, мы располагаем собственным заводом. Если вам нужны индивидуальные услуги, отвечающие конкретным потребностям вашего региона, или вы хотите купить передовые и надежные Покрытие из карбида кремния, произведенные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.