Конечный эффектор для обработки пластин

Конечный эффектор для обработки пластин — это тип руки-робота, разработанный специально для полупроводниковой промышленности и обычно используемый для обработки и транспортировкивафли. Среда производства пластин требует чрезвычайно высокой чистоты, поскольку мельчайшие частицы или загрязнения могут привести к выходу чипов из строя во время обработки. Керамические материалы широко используются при изготовлении этих стрелок благодаря своим превосходным физическим и химическим свойствам.

По сравнению с традиционными металлическими материалами преимуществакерамикав материалах в основном отражены в следующих аспектах:

    •Коррозионная стойкость: В процессе производства пластины подвергаются воздействию различных химикатов, а керамические материалы могут эффективно противостоять коррозии и обеспечивать долгосрочное использование оборудования.

    •Низкий выброс частиц: Поскольку керамика имеет чрезвычайно низкий выброс частиц, они практически не образуют частиц в процессе работы, тем самым снижая риск загрязнения пластины.

    •Хорошая устойчивость к высоким температурам: В некоторых процессах с пластинами приходится работать в условиях высокой температуры, а высокая термостойкость робота для обработки пластин из керамических материалов позволяет им адаптироваться к этим суровым условиям.

    •Электрическая изоляция: Керамика является естественным электрическим изолятором, который необходим для процессов обработки, связанных с током, и может предотвратить воздействие статического электричества на пластины.

Обычное оборудование для обработки пластин изготовлено из алюминия. Лодки VetekSemi для обработки пластин SiC, изготовленные из SiC, имеют много преимуществ. Карбид кремния известен своей превосходной механической прочностью, превосходной термической стабильностью и коррозионной стойкостью. Эти свойства делают его идеальным материалом для роботизированного манипулятора для обработки пластин, где чистота, точность и надежность имеют решающее значение.

С непрерывным развитием полупроводниковых технологий размер пластин постепенно увеличивался, что предъявляло более высокие требования к проектированию и производству концевого эффектора для обработки пластин. В будущем, благодаря совершенствованию технологий автоматизации, точность, скорость и надежность концевого эффектора для обработки пластин будут продолжать улучшаться.

Являясь одним из основных видов оборудования в производстве полупроводников, роботы для обработки пластин занимают важное место на заводах по производству полупроводников благодаря своей высокой чистоте, коррозионной стойкости и стабильности при высоких температурах. VeTek Semiconductor может предоставить клиентам индивидуальные продукты концевых эффекторов для обработки пластин, а также предпродажное и послепродажное обслуживание и с нетерпением ждет вашей консультации.

ВеТекСемКонечный эффектор обработки пластин: