Керамический вакуумный патрон из глинозема

Керамический вакуумный патрон из глинозема — это держатель пластин для эпитаксиальных процессов обработки полупроводников. Это ключевой инструмент для стабилизации пластин и обеспечения равномерного роста эпитаксиальных слоев. Он широко используется в эпитаксиальном оборудовании, таком какМОКВДиЛПКВД.

Вакуумный патрон VeTek Semiconductor Alumina Alumina Ceramic играет жизненно важную роль на этапах утонения и шлифования пластин при производстве полупроводников. Эти этапы включают в себя точное уменьшение толщиныподложка пластиныдля улучшения отвода тепла от чипа, что важно для повышения эффективности и срока службы полупроводниковых устройств.

Совместимость с пластинами разных размеров: Вакуумный патрон VeTek Semiconductor Alumina Alumina Ceramic предназначен для поддержки пластин широкого диапазона размеров, включая 2, 3, 4, 5, 6, 8 и 12 дюймов. Такая адаптивность делает его пригодным для различных производственных сред полупроводников, обеспечивая стабильную и надежную работу при различных размерах пластин.

Превосходный состав материала: Основание глиноземного керамического вакуумного патрона изготовлено из сверхчистого глинозема 99,9999% (Al₂O₃), который обеспечивает превосходную стойкость к химическому воздействию и термическую стабильность. Поверхность патрона выполнена из пористойкарбид кремния (SiC). Пористый керамический материал имеет плотную и однородную структуру, что повышает его долговечность и эксплуатационные характеристики.

ПреимуществаПористая керамическая технология：

Чистота материала и долговечность: Изготовленный из чистого глинозема на 99,99%, наш глиноземный керамический вакуумный патрон противостоит химическому воздействию и обеспечивает превосходную термическую стабильность, что делает его идеальным для чрезвычайно сложных производственных условий.

Оптимальная пористость и воздухопроницаемость: Равномерно распределенные микропоры обеспечивают превосходную воздухопроницаемость и равномерную силу адсорбции, что обеспечивает плавную и стабильную работу.

Повышенная плоскостность и параллелизм: Вакуумные патроны из микропористой глиноземной керамики обладают превосходной плоскостностью и параллельностью, что обеспечивает точную обработку пластин и их стабильность.

Возможности индивидуального обслуживания: VeTekSemi может предоставить различные формы по индивидуальному заказу, включая круглые, квадратные, кольцевые и другие конструкции, толщиной от 3 мм до 10 мм. Такая индивидуализация гарантирует, что наши вакуумные патроны из глиноземной керамики отвечают конкретным потребностям различных процессов производства полупроводников и, безусловно, являются вашим идеальным выбором.

ВеТек Полупроводникстремится предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности, и мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

The Химическая формулаглиноземная керамика：

ВеТек ПолупроводникМагазины вакуумных патронов из глинозема и керамики: