В полупроводниковом процессе транспортировка пластин особенно важна. Полупроводниковые кварцевые лодочки очень хороши для транспортировки пластин и подходят для таких процессов, как диффузия, окисление и CVD. VeTek Semiconductor является ведущим производителем и поставщиком полупроводниковых кварцевых лодочек в Китае и способна предоставлять клиентам продукцию с учетом индивидуальных требований. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.
Полупроводниковая кварцевая лодка — это кварцевый продукт высокой чистоты, используемый в процессе производства полупроводников. Его основная функция — транспортировка и передача пластин в высокотемпературные печи. Он широко используется в прецизионных отраслях промышленности, таких как полупроводники, оптоэлектроника и светодиоды. Подходит для диффузии, окисления, CVD и других процессов.
• Высокая чистота: В полупроводниковой кварцевой лодке используется кварцевый материал высокой чистоты с чрезвычайно низким содержанием примесей, который эффективно предотвращает загрязнение ионами металлов и соответствует требованиям к чистой среде полупроводниковых процессов.
• Высокая термостойкость: Обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам и может стабильно использоваться в течение длительного времени при температуре до 1200 ℃.
• Коррозионная стойкость: Обладает хорошей коррозионной стойкостью к большинству химических реагентов, таких как кислоты и щелочи, поэтому может адаптироваться к химической среде полупроводникового оборудования, такого как CVD-печи.
•Хорошая термическая стабильность: Низкий коэффициент теплового расширения, не легко деформируется при нагревании, подходит для частых процессов нагрева и охлаждения.
Параметры
Технические характеристики
Материал
Кварц высокой чистоты
Внешний диаметр
Настраиваемые по мере необходимости
Длина
Настраиваемые по мере необходимости
Термическая стабильность
Стабильная работа при 1200°C
• Повышение эффективности производства: компактный дизайн, простота переноса пластин и повышенная производительность процесса.
• Снизить риск загрязнения: кварцевый материал высокой чистоты, снижающий загрязнение микропримесями в процессе.
• Длительный срок службы и долговечность: устойчивость к высоким температурам и коррозии, подходит для высокочастотного использования, снижает затраты на замену.
Vetek Semiconductor стремится предоставлять клиентам высококачественные кварцевые изделия высокой чистоты для лодок. Вся продукция проходит строгий контроль качества, чтобы гарантировать ее соответствие высоким стандартам полупроводниковой промышленности.