Пьедестал из плавленого кварца ALD

Подставка из плавленого кварца VeTek Semiconductor ALD играет ключевую роль в процессе производства полупроводников в качестве опорной конструкции длякварцевая лодка, который используется для хранениявафля. Подставка из плавленого кварца помогает добиться равномерного нанесения пленки за счет поддержания стабильной температуры, что напрямую влияет на производительность и надежность полупроводниковых устройств. Кроме того, кварцевый пьедестал обеспечивает равномерное распределение тепла и света в технологической камере, тем самым улучшая общее качество процесса осаждения.

Преимущества материала постамента из плавленого кварца ALD

Высокая термостойкость: Температура размягчения пьедестала из плавленого кварца достигает около 1730°C, он может выдерживать высокие температуры от 1100°C до 1250°C в течение длительного времени и может подвергаться воздействию экстремальных температур до 1450°C. на короткое время.

Отличная коррозионная стойкость: Плавленый кварц очень химически инертен практически ко всем кислотам, кроме плавиковой кислоты. Его кислотостойкость в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали. Плавленый кварц химически не имеет себе равных при высоких температурах, что делает его идеальным материалом для сложных химических процессов.

Термическая стабильность: Ключевой особенностью материала постамента из плавленого кварца является чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения. Это означает, что он может легко выдерживать резкие колебания температуры без растрескивания. Например, плавленый кварцевый кварц можно быстро нагреть до 1100°C и без повреждений погрузить непосредственно в холодную воду, что является важной особенностью в условиях производства с высокими нагрузками.

Строгий производственный процесс: Процесс производства пьедесталов из плавленого кварца строго соответствует высоким стандартам качества. В производственном процессе используются процессы горячей штамповки и сварки, которые обычно выполняются в чистых помещениях класса 10 000. После этого подставка из плавленого кварцевого стекла тщательно очищается сверхчистой водой (18 МОм), чтобы обеспечить чистоту продукта и оптимальные характеристики. Каждый готовый продукт тщательно проверяется, очищается и упаковывается в чистых помещениях класса 1000 или выше, чтобы соответствовать высоким стандартам полупроводниковой промышленности.

Непрозрачный кварцевый материал высокой чистоты

В пьедестале из плавленого кварца VeTeksemi ALD используется непрозрачный кварцевый материал высокой чистоты для эффективной изоляции тепла и света. Его превосходные теплозащитные и светозащитные свойства позволяют ему поддерживать равномерное распределение температуры в технологической камере, обеспечивая однородность и постоянство тонкихнанесение пленкина поверхности пластины.

Области применения

Пьедесталы из плавленого кварца широко используются во многих областях полупроводниковой промышленности благодаря своим превосходным характеристикам. Впроцесс атомно-слоевого осаждения (ALD), он поддерживает точный контроль роста пленки и обеспечивает развитие полупроводниковых устройств. ВПроцесс химического осаждения из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)Термическая стабильность и светозащитная способность кварцевого пьедестала высокой чистоты обеспечивают гарантии равномерного осаждения тонких пленок, тем самым улучшая производительность и производительность устройства.

Кроме того, в процессе диффузионной пластины устойчивость к высоким температурам и химической коррозии подставки из плавленого кварца обеспечивают надежность и последовательность процесса легирования полупроводникового материала. Эти ключевые процессы определяют электрические характеристики полупроводниковых устройств, а высококачественные материалы из плавленого кварца играют незаменимую роль в достижении наилучших результатов этих процессов.

Магазины VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal: