Графитовая лодка PECVD

Графитовая лодочка PECVD от Vetek Semiconductor оптимизирует процессы нанесения покрытия на солнечные элементы, эффективно распределяя кремниевые пластины и вызывая тлеющий разряд для равномерного осаждения покрытия. Благодаря передовым технологиям и выбору материалов графитовые лодочки Vetek Semiconductor PECVD улучшают качество кремниевых пластин и повышают эффективность преобразования солнечной энергии. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Отправить запрос

Описание продукта

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком графитовых лодочек PECVD в Китае.

Какова роль графитовой лодки PECVD солнечных элементов (покрытия) VeTek Semiconductor?

В качестве носителя обычных кремниевых пластин, полученных в процессе нанесения покрытия, графитовая лодочка PECVD имеет множество лодочных пластин с определенными интервалами в структуре, и между двумя соседними лодочными пластинами существует очень узкое пространство, и кремниевые пластины размещаются на обеих. стороны пустой двери.

Поскольку материал графитовой лодочки PECVD графит обладает хорошими свойствами электро- и теплопроводности, переменное напряжение задается в двух соседних лодочках, так что две соседние лодочки образуют положительные и отрицательные полюса, когда в камере есть определенное давление и газ, Между двумя лодками возникает тлеющий разряд, тлеющий разряд может разлагать газы SiH4 и NH3 в пространстве, образуя ионы Si и N. Молекулы SiNx формируются и осаждаются на поверхности кремниевой пластины для достижения цели покрытия.

Графитовая лодка PECVD в качестве носителя для просветляющей пленки для покрытия солнечных элементов, ее структура и размер напрямую влияют на эффективность преобразования и эффективность производства кремниевых пластин. После многих лет технических исследований и разработок наш завод теперь имеет современное производственное оборудование, опытных разработчиков технологий и опытных специалистов. Производственный персонал и материалы могут выбирать импортное сырье или высококачественные отечественные материалы. В настоящее время графитовый дом, производимый нашей компанией, имеет простую конструкцию и находится на разумном расстоянии от графитовой лодочки, что делает кремниевое покрытие однородным, улучшает качество кремниевой пластины и повышает эффективность преобразования солнечной энергии.

У Vetek Semiconductor есть все типы графитовых лодочек, которые сейчас нужны рынку.

Основные физические свойства изостатического графита:

Физические свойства изостатического графита
Свойство	Единица	Типичное значение
Объемная плотность	г/см³	1.83
Твердость	HSD	58
Электрическое сопротивление	мОм·м	10
Предел прочности при изгибе	МПа	47
Прочность на сжатие	МПа	103
Предел прочности	МПа	31
Модуль для младших	ГПа	11.8
Тепловое расширение (КТР)	10-6К-1	4.6
Теплопроводность	Вт·м-1·К-1	130
Средний размер зерна	мкм	8-10
Пористость	%	10
Содержание пепла	ppm	≤5 (после очистки)