Насколько тонкими могут быть кремниевые пластины с помощью процесса Тайко?

Что такое процесс Тайко?

Процесс Тайко — это технология утончения пластин, которая оставляет края пластины неутонченными и утончает только центральную часть пластины. Это позволяет центральной части пластины достигать чрезвычайно тонкой толщины, в то время как край пластины сохраняет свою первоначальную толщину.

Зачем использовать процесс Тайко?

Как показано на рисунке выше, традиционный процесс утончения приводит к утончению всей пластины, в результате чего общая структура пластины становится очень хрупкой, чрезвычайно хрупкой во время производственного процесса и чрезмерному короблению, что не способствует последующему производству. Процесс Тайко придает всей пластине более высокую механическую прочность, что прекрасно решает эту проблему. Почему это называется процессом Тайко? Процесс Тайко — это процесс, изобретенный японской компанией Disco. Вдохновением для его названия послужил японский барабан Тайко (барабан Тайко), имеющий толстые края и более тонкие средние части, отсюда и название.

Какова минимальная толщина, до которой может быть утоньшен процесс Тайко?

На изображении выше показан эффект 8-дюймовой пластины толщиной 50 мкм. На втором изображении в этой статье показан эффект 12-дюймовой пластины, утонченной до 50 мкм.

-------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- --------

VeTek Semiconductor — профессиональный китайский производительSiC пластина,Вафельный носитель,Вафельная Лодочка,Вафельный патрон. VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые решения для различных продуктов SiC Wafer для полупроводниковой промышленности.

Если вы заинтересованы в нашей вафельной продукции, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.Мы искренне надеемся на вашу дальнейшую консультацию.

Моб: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

Электронная почта: anny@veteksemi.com